最新消息，彭博社援引知情人士透露，美國(guó)正向荷蘭、日本施壓，要求光刻機(jī)制造商ASML和尼康停止向中國(guó)大陸出售技術(shù)較成熟的DUV光刻設(shè)備。

來(lái)源：彭博社

繼阻止中芯國(guó)際和SK海力士無(wú)錫廠(chǎng)引入EUV光刻機(jī)后，美國(guó)政府對(duì)大陸半導(dǎo)體的遏制已經(jīng)延伸到非先進(jìn)工藝的7nm節(jié)點(diǎn)。

知情人士表示，美國(guó)官員正在游說(shuō)荷蘭當(dāng)局禁止ASML出售成熟制程所需的深紫外光（DUV）浸沒(méi)式光刻系統(tǒng)。這類(lèi)設(shè)備所用于的芯片制程技術(shù)比先進(jìn)技術(shù)落后一代以上，但仍是制造汽車(chē)、手機(jī)、電腦乃至機(jī)器人所需的成熟制程芯片最常用的設(shè)備。

由于ASML壟斷了全球高端光刻市場(chǎng)，浸沒(méi)式DUV全球市占率達(dá)93%，EUV全球市占率達(dá)100%。消息拖累ASML的美國(guó)存托憑證（ADR）價(jià)格一度重挫超8%，為近一年最大盤(pán)中跌幅。

圖：可用于7nm工藝的尼康浸沒(méi)式DUV

此外，美國(guó)官員也試圖施壓技術(shù)落后ASML的DUV供應(yīng)商日本尼康，要求停止向大陸芯片制造商發(fā)貨。

日本尼康和佳能是ASＭL外全球最大的兩家DUV制造商，芯片大師曾報(bào)道ASML CEO：某集團(tuán)被迫買(mǎi)洗衣機(jī)來(lái)拆芯片，過(guò)去兩年內(nèi)其用于200mm晶圓的二手設(shè)備已經(jīng)漲價(jià)數(shù)倍，甚至已有20年歷史的老舊機(jī)臺(tái)在二手和租賃市場(chǎng)都供不應(yīng)求。

浸沒(méi)式光刻技術(shù)也稱(chēng)氟化氬浸沒(méi)（簡(jiǎn)稱(chēng)ArFi），是EUV的上一代技術(shù)，ASML、尼康的高端ArF設(shè)備最高均能實(shí)現(xiàn)7nm工藝，也是當(dāng)初推動(dòng)ASML一躍成為全球光刻霸主的關(guān)鍵技術(shù)，如今成為打壓大陸半導(dǎo)體業(yè)的新工具。

公開(kāi)資料顯示，ASML在2021年出貨81臺(tái)浸沒(méi)式DUV設(shè)備，而尼康則為4臺(tái)。

圖：美國(guó)商務(wù)部官員訪(fǎng)問(wèn)ASML

知情人士說(shuō)，美國(guó)商務(wù)部副部長(zhǎng)格雷夫斯（Don Graves）于5月底出訪(fǎng)荷蘭時(shí)，提出了這一要求。但暫時(shí)來(lái)看，荷蘭政府尚未同意額外限制ASML向中國(guó)大陸晶圓制造商出口DUV設(shè)備，同時(shí)荷蘭首相呂特6月曾表示他“反對(duì)重新考量與中國(guó)的貿(mào)易關(guān)系”。

ASML CEO溫彼得今年稍早時(shí)候也曾表示，ASML反對(duì)禁止把DUV設(shè)備賣(mài)給中國(guó)大陸，因?yàn)檫@是成熟技術(shù)。ASML對(duì)中國(guó)大陸（包含國(guó)內(nèi)外企業(yè)的所有晶圓廠(chǎng)）發(fā)貨的銷(xiāo)售額，占2021年總營(yíng)收的14.7%。

圖：全球主要芯片制造設(shè)備市場(chǎng)

同時(shí)根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，盡管無(wú)法引進(jìn)先進(jìn)工藝設(shè)備，中國(guó)大陸依然連續(xù)兩年成為全球最大的晶圓制造設(shè)備市場(chǎng)，累計(jì)花費(fèi)高達(dá)483億美元（約合人民幣3200億人民幣）。

盡管其中有斷供壓力下晶圓廠(chǎng)囤積庫(kù)存和產(chǎn)能緊缺導(dǎo)致擴(kuò)產(chǎn)的雙重催化，但這份數(shù)據(jù)展示的強(qiáng)大市場(chǎng)潛力背后，ASML等先進(jìn)工藝設(shè)備無(wú)法進(jìn)入依然使其遭受了不少的損失。

ASML發(fā)言人表示：“討論并不是新的。尚未作出任何決定，我們不希望對(duì)傳言加以臆測(cè)或評(píng)論?！蹦峥祫t未予置評(píng)。