據(jù)ETNews消息，三星已經(jīng)將韓國本土公司研發(fā)的EUV光刻膠（EUV PR），用于一條半導(dǎo)體工藝線生產(chǎn)。
圖：東進半導(dǎo)體的化學(xué)品產(chǎn)線
據(jù)悉，在2019年日本限制對韓國出口EUV光刻膠后，韓國東進半導(dǎo)體就開始研發(fā)EUV光刻膠，并在2021年通過了三星電子的可靠性認證，隨后在不到一年的時間里，就將其應(yīng)用到生產(chǎn)線。據(jù)悉，東進半導(dǎo)體于2020年聘任ASML Korea前CEO Young-sun Kim為副會長，為進軍EUV PR業(yè)務(wù)打下基礎(chǔ)。2021年初，東進通過增加光刻膠研人員來加速產(chǎn)品開發(fā)。此后，東進EUV PR在三星華城廠區(qū)進行了幾個月的驗證。由于三星將該產(chǎn)品用于實際的半導(dǎo)體生產(chǎn)，東進半導(dǎo)體成為韓國第一家將EUVPR國產(chǎn)化至量產(chǎn)水平的公司，盡管三星尚未確認是否將引進更大批量的EUV PR，也未確認東進半導(dǎo)體的產(chǎn)品用于哪種工藝，但對于半導(dǎo)體供應(yīng)鏈自主已經(jīng)具有標志性意義。
圖：三星半導(dǎo)體產(chǎn)線
在此期間，韓國政府和企業(yè)多次赴日商討放寬管制，但幾乎未取得積極成果。但為了避免失去大客戶和被韓國本土廠商替代，日本半導(dǎo)體材料企業(yè)也紛紛“自救”。芯片大師曾報道住友化學(xué)將在韓國建廠生產(chǎn)ArF光刻膠，住友化學(xué)宣布在其全資子公司韓國東宇精細化學(xué)株式會社益山廠建立一座新的ArF浸沒光刻用光刻膠生產(chǎn)工廠。另一家光刻膠大廠TOK（東京應(yīng)化）則擴大了其在仁川市的工廠，使其本地光刻膠產(chǎn)能比2018年翻了一番。
同時，向SKHynix供應(yīng)電子氣體的Daikin Industries（大金工業(yè)）與韓國設(shè)備供應(yīng)商成立合資企業(yè)，并在韓國投資40億日元建立工廠。
圖：電子級氟化氫提純設(shè)備
同時，另外一種被日本出口管制的半導(dǎo)體原材料氟化氫的替代進度更快。韓國化學(xué)廠商Soulbrain于2020年1月研發(fā)出高純度氟化氫，目前正在向三星電子供貨。當(dāng)Soulbrain研發(fā)氟化氫的消息傳出后，日本恢復(fù)了對韓國的出口。目前，SK Materials、Ram Technology、ENF Technology已成功開發(fā)出氟化氫，部分產(chǎn)品已被半導(dǎo)體廠商用于量產(chǎn)。根據(jù)韓國工業(yè)部的數(shù)據(jù)，3年間韓國氟化氫進口量下降66%，從2019年的3630萬美元下降到去年的1250萬美元。
