近日，嘉興南湖政府網(wǎng)站披露，張汝京博士作為項目領(lǐng)銜人及其團(tuán)隊等出席總投資30億元的光罩材料產(chǎn)業(yè)鏈項目簽約儀式。

圖：嘉興市人民政府公告

芯片大師曾報道張汝京：下一站，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備，2021年底在萬業(yè)企業(yè)旗下嘉芯半導(dǎo)體啟動半導(dǎo)體設(shè)備項目時，作為后者第二大股東寧波芯恩的主要股東和董事長，張汝京博士并未現(xiàn)身。

但坊間一直傳聞張博士淡出青島芯恩乃至加盟上海積塔半導(dǎo)體，他本人亦私下表示“對設(shè)備一直有興趣”，本次時隔數(shù)年，74歲高齡的他終于現(xiàn)身嘉興南湖光罩項目簽約現(xiàn)場。

圖：簽約儀式（張汝京博士為后排左起第五位）

據(jù)悉，該項目總投資30億元，首期投資11億元，將落戶于南湖高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)園，主要從事光罩材料產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)制造，產(chǎn)品包括高平整度石英基板、鍍膜基板（含二元及相位移的）、保護(hù)膜的原材料。項目計劃于今年9月啟動。

光罩，也稱為光掩模版，是半導(dǎo)體光刻工藝中所需的高精密工具，也是芯片制造環(huán)節(jié)的關(guān)鍵原材料，直接決定光刻工藝水平。

圖：張汝京博士一行

簽約儀式上，張汝京表示，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，光罩作為芯片的關(guān)鍵原材料，市場需求不斷上升。

目前，光罩材料部分產(chǎn)品完全依賴進(jìn)口，尤其是光罩保護(hù)膜，目前僅有海外少數(shù)幾家廠商有能力生產(chǎn)，國內(nèi)該方面技術(shù)仍為空白。本項目旨在成為國內(nèi)光罩上游材料龍頭，解決國內(nèi)半導(dǎo)體材料“卡脖子”問題。

若項目能夠順利落地，將是張汝京博士繼創(chuàng)辦中芯國際（晶圓代工）、新昇半導(dǎo)體（大硅片）、青島芯恩（CIDM）等重大項目后的又一大致力于解決半導(dǎo)體“卡脖子”的壯舉。