8月2日，中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)顯示，萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下嘉芯閎揚(yáng)公司和嘉芯迦能公司成功中標(biāo)上海積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線項(xiàng)目10臺(tái)刻蝕設(shè)備。

圖：萬(wàn)業(yè)企業(yè)

其中嘉芯閎揚(yáng)公司中標(biāo)1臺(tái)金屬等離子刻蝕機(jī)、4臺(tái)氮化硅等離子刻蝕機(jī)；嘉芯迦能公司中標(biāo)2臺(tái)金屬等離子刻蝕機(jī)和3臺(tái)側(cè)墻等離子刻蝕機(jī)。

近期，萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下快速熱處理設(shè)備（RTP）、薄膜沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備已相繼成功躋身上海積塔特色工藝產(chǎn)線。

圖：上海積塔中標(biāo)公告

7月29日，據(jù)上海積塔半導(dǎo)體設(shè)備中標(biāo)結(jié)果公告顯示，萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下嘉芯迦能公司成功中標(biāo)上海積塔半導(dǎo)體有限公司特色工藝生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目7臺(tái)薄膜沉積設(shè)備，包括6臺(tái)高密度等離子薄膜沉積設(shè)備(HDP-CVD)和1臺(tái)二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備(PECVD)。

今年上半年，萬(wàn)業(yè)企業(yè)及控股子公司累計(jì)新增集成電路設(shè)備訂單超7.5億元，集成電路專用設(shè)備制造業(yè)務(wù)收入較上年同期增加約150%，主要受益于中國(guó)本土集成電路晶圓廠加速擴(kuò)產(chǎn)，旗下低能大束流離子及高能注入機(jī)順利完成客戶交付，多家客戶新簽設(shè)備采購(gòu)訂單等因素影響。

圖：凱世通寬幅大束流離子注入機(jī)

現(xiàn)階段，萬(wàn)業(yè)企業(yè)正向集成電路前道設(shè)備領(lǐng)域加速部署。公司控股子公司凱世通在2022年度第一季度獲得重要客戶多臺(tái)12英寸集成電路設(shè)備的批量訂單，包含低能大束流離子注入機(jī)、低能大束流超低溫離子注入機(jī)。

4月下旬，凱世通進(jìn)入上海市經(jīng)信委首批復(fù)工復(fù)產(chǎn)白名單，向客戶順利交付了批量訂單中的首批多套大束流離子注入機(jī)，后續(xù)將按期交付節(jié)奏穩(wěn)定出貨。

2021年迄今，凱世通研發(fā)的4種不同型號(hào)的離子注入機(jī)設(shè)備已相繼在客戶端成功取得驗(yàn)證及驗(yàn)收，包括低能大束流離子注入機(jī)、低能大束流重金屬離子注入機(jī)、低能大束流超低溫離子注入機(jī)以及高能離子注入機(jī)。