近日荷蘭ASML CEO警告稱，如果停止向中國(guó)大陸供應(yīng)半導(dǎo)體設(shè)備，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈將面臨中斷。

圖：Peter Wennink

芯片大師曾報(bào)道鎖死7nm？美正施壓ASML對(duì)大陸禁售DUV光刻機(jī)，但基于商業(yè)利益和外交考量，荷蘭政府并未同意，同時(shí)ASML明確持反對(duì)態(tài)度。

對(duì)此，近期ASML首席執(zhí)行官Peter Wennink明確表示：“我認(rèn)為需要意識(shí)到中國(guó)大陸是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)重要參與者，不論成熟制程還是主流制程，中國(guó)大陸都是全球市場(chǎng)非常重要的供應(yīng)商，所以必須小心正在做的事?！?/span>

同時(shí)還略帶批評(píng)稱：“政界人士不時(shí)提出限制出口中國(guó)大陸DUV的計(jì)劃，不過(guò)世界不能忽視的事實(shí)是，中國(guó)大陸擁有滿足全球市場(chǎng)需求的芯片制造能力?！?/span>

此前，Wennink不止一次表達(dá)過(guò)，如果ASML斷供更多設(shè)備，那么中國(guó)大陸遲早會(huì)研制出自己的光刻機(jī)，盡管不一定先進(jìn)，但ASML將永遠(yuǎn)失去中國(guó)市場(chǎng)。

圖：EUV光刻內(nèi)部結(jié)構(gòu)

中國(guó)大陸是ASML第三大市場(chǎng)，僅次于中國(guó)臺(tái)灣和韓國(guó)，約占其2021年銷售額的16%，即21億歐元（約合145億元人民幣）。

自2019年以來(lái)，荷蘭政府與美國(guó)達(dá)成協(xié)議，未授予ASML向中國(guó)大陸芯片制造商出售最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)的許可。不過(guò)，ASML可以繼續(xù)向大陸客戶銷售DUV光刻機(jī)，而全球大多數(shù)芯片都是用DUV光刻機(jī)制造的。

在中美貿(mào)易戰(zhàn)日趨激烈背景下，美國(guó)仍有施壓ASML要求不要出售DUV等其他設(shè)備給中國(guó)大陸的討論。荷蘭外長(zhǎng)也證實(shí)，美國(guó)和荷蘭正在討論此事。

圖：蔡司的高NA鏡頭研發(fā)生產(chǎn)基地

值得一提的是，在討論是否對(duì)中國(guó)大陸禁售上一代DUV的同時(shí)，本季度ASML公司下一代高NA孔徑EUV光刻機(jī)的制造已經(jīng)取得重大突破。

ASML表示已經(jīng)收到了來(lái)自供應(yīng)商的物鏡、光源及工作臺(tái)，這也是光刻機(jī)的三大核心部件，直接決定光刻機(jī)的工藝精度。

根據(jù)ASML的消息，相比目前NA孔徑只有0.33的光刻機(jī)，下一代的EUV光刻機(jī)NA孔徑提升到0.55，有望進(jìn)一步提高芯片工藝，是制造2nm及以下工藝的關(guān)鍵設(shè)備。

高NA孔徑的EUV光刻機(jī)價(jià)格也會(huì)大幅上漲，相比目前單臺(tái)10億元的價(jià)格，下一代光刻機(jī)價(jià)格要暴漲到4億美元，人民幣26億元以上，原型機(jī)預(yù)計(jì)2023年上半年完工，2025年首次投入使用，2026年到2030年主力出貨。

據(jù)報(bào)道稱，首批4臺(tái)高NA光刻系統(tǒng)被英特爾拿下。