芯片大師曾在ASML警告!超500臺DUV訂單積壓,僅能交付60%一文中提及,由于一臺光刻機需要10萬個零部件,一部分短缺造成了ASML光刻機產(chǎn)能的巨大缺口。
圖:體積巨大的DUV光刻機鏡頭組
而其中構(gòu)成瓶頸最重要的零部件,正是“光刻機之眼”——鏡頭。
Semiconductor Advisors分析師提到,ASML產(chǎn)能受限并不是因為芯片,也不是因為疫情或者俄烏沖突,問題是出在了ASML的供應(yīng)商身上,造成瓶頸的關(guān)鍵供應(yīng)商就是德國的蔡司(Zeiss)。
作為擁有175年歷史的光學(xué)器材制造商,蔡司研究光刻已經(jīng)長達50年,其光學(xué)技術(shù)直接推動了半導(dǎo)體制程的發(fā)展。其CTO表示,全球80%的芯片使用蔡司的光學(xué)元件制造,所言非虛。
圖:蔡司因EUV光刻技術(shù)獲“德國未來獎”
作為EUV光刻技術(shù)的發(fā)明人之一,蔡司的反射鏡能使激光束準(zhǔn)確擊中一顆月球上的乒乓球。2020年,蔡司和德國通快(激光器制造商)、弗勞恩霍夫研究所一起被德國總統(tǒng)授予“德國未來獎”。
而熟悉ASML歷史的朋友知道,因為和蔡司的緊密合作,成為從飛利浦剝離的ASML在21世紀(jì)反超日本佳能和尼康、在DUV時代“翻身”的關(guān)鍵。
線寬進入7nm時代以后,蔡司成為了當(dāng)代尖端微影制程唯一的光學(xué)鏡組供應(yīng)商。Semiconductor Advisors分析師表示,ASML在這個部分全部依賴蔡司,別無二選。
某種角度上,風(fēng)光無限的ASML更像是一家“系統(tǒng)集成商”,光刻技術(shù)執(zhí)牛耳者蔡司則是“幕后功臣”。所以業(yè)界有人開玩笑說,磨玻璃的比玩沙子的高級。
但是這家磨了175年玻璃的公司,如今產(chǎn)能跟不上了。
圖:蔡司下一代High NA光刻組件
盡管目前光刻機訂單爆滿,ASML四處擴產(chǎn),但蔡司一方面本身并沒有足夠的空間來增加產(chǎn)能,同時由于其特殊的組織屬性和傳統(tǒng),產(chǎn)出很難跟上井噴的市場需求。
5月6日,德國工會與蔡司集團達成一致,蔡司的2,400多名員工每周工作時間將從目前的38小時逐漸減少到35小時。“我們希望保持對專業(yè)人士的吸引力,”蔡司集團的一位女發(fā)言人說。
而讓我們更想不到的是,百年蔡司集團的唯一股東是蔡司基金會——一家官網(wǎng)寫著以推動科學(xué)發(fā)展而非商業(yè)盈利為己任的私人基金會。該基金會規(guī)定:禁止出售股份(例如IPO),因此,該公司的股票未在任何證券交易所上市。
蔡司集團這種特殊的所有權(quán)結(jié)構(gòu)確保了其高度的穩(wěn)定性——不緊不慢地磨玻璃。