據(jù)報道,韓國用于半導體制造工藝的本土氖氣生產(chǎn)和供應預計將于2022年下半年開始。
“我們準備從下半年開始向半導體制造商供應氖氣,”TEMC于2月28日表示。這種氣體構成了用于半導體曝光的準分子激光氣體,其在空氣中的含量低至 0.00182%。
目前,韓國對進口氖氣的依存度為100%。自俄烏沖突爆發(fā)以來,氖氣等惰性氣體的采購已成為韓國嚴重關切的問題。
兩家韓國企業(yè)TEMC和POSCO最近建設了高純氖氣生產(chǎn)設備,設備年產(chǎn)能約為22,000立方米,相當于國內(nèi)需求的16%。兩家公司還在研究其他稀有氣體,包括氪和氙,用于進口替代。
2021年,韓國的氖氣進口包括23%來自烏克蘭和5%來自俄羅斯,氪氣的百分比分別為31%和17%,氙氣的百分比為18%和31%。