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圖:一個(gè)ASML光刻系統(tǒng)的完整構(gòu)成
圖:EUV光刻依賴超高強(qiáng)度的激光系統(tǒng)
圖:EKSPLA的高強(qiáng)度激光系統(tǒng)
圖:德國通快、ASML等研發(fā)的EUV激光系統(tǒng)
憑借在科學(xué)和工業(yè)領(lǐng)域獨(dú)步天下的納秒、皮秒激光器和高強(qiáng)度激光系統(tǒng),EKSPLA成為德國通快集團(tuán)的激光源供應(yīng)商,而后者正是ASML EUV光刻機(jī)激光系統(tǒng)的唯一供應(yīng)商。
而立陶宛另一家定位民用的重量級(jí)激光企業(yè)——來特激光(Light Conversion)則占據(jù)了全球80%以上的飛秒激光器市場(chǎng),換言之,不論在民用、工業(yè)還是科研領(lǐng)域,立陶宛都牢牢卡住了激光這個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
那么,立陶宛背后的激光巨頭EKSPLA和激光產(chǎn)業(yè)能卡我們的脖子嗎?
圖:中國主要激光企業(yè)(前瞻)
根據(jù)公開數(shù)據(jù),我國兩大光刻機(jī)研究機(jī)構(gòu)長春光機(jī)所和上海光機(jī)所都在進(jìn)行專門的激光器件和設(shè)備研究,部分民用領(lǐng)域如機(jī)床、數(shù)控技術(shù)和激光工藝方面已達(dá)到國際先進(jìn)水平。
華工科技先進(jìn)固體激光器等領(lǐng)域在國內(nèi)均處于絕對(duì)的領(lǐng)先地位,但與國際企業(yè)在中大功率領(lǐng)域還有明顯差距。如國產(chǎn)光纖激光器的龍頭銳科激光,在國內(nèi)萬瓦級(jí)高功率光纖激光器方面處于主導(dǎo)地位,并已實(shí)現(xiàn)核心光學(xué)器件100%國產(chǎn)化。
但也應(yīng)該看到,我國在技術(shù)上缺乏在高強(qiáng)度激光源、超快激光器等領(lǐng)域的突破,意味著暫時(shí)無法支撐最尖端的前沿基礎(chǔ)科學(xué)和應(yīng)用。而激光一旦被卡,在國內(nèi)已有產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)的情況下,反而能倒逼技術(shù)和國產(chǎn)化率的提升,不妨拭目以待。